Formation continue 2020 - Société Française du Vide
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Formation
continue
2020
TECHNIQUES & APPLICATIONS
VID
E
PR
O
ÉD
C
É S
AN
ALY
SE INTRA
SOCIÉTÉ FRANÇAISE DU VIDE
FAITES LE PLEIN DE CONNAISSANCES
www.vide.org
Certification CQPM
Enregistré sous le numéro 11750054675 auprès d u préfet de région d’Ile-de-France.
Cet enregistrement ne vaut pas agrément de l’Etat.
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des gaz résiduels dans vos systèmes sous vide.
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SOMMAIRE
VIDE
Le programme propose un vaste choix de formations, depuis l’initiation des débutants, les cours
de base pour ceux qui vont être confrontés à la conception d’équipements ou de procédés utilisateurs
du vide, ainsi qu’aux problèmes d’étanchéité, jusqu’à des formations plus poussées et plus spécialisées
correspondant à des applications spécifiques comme la cryogénie, ou des applications industrielles
dans l’agroalimentaire, la chimie ou la pharmacie.
PROCÉDÉS
Le vide joue un rôle particulier dans de nombreux procédés d’élaboration de couches minces.
Nous proposons une gamme complète de cours concernant la plupart des procédés d’élaboration
des couches minces, le plus souvent assistés par plasma, ainsi que les procédés de gravure.
Ces procédés s’appliquent aussi bien à des échantillons métalliques, semi-conducteurs ou polymères.
ANALYSE
Les analyses physico-chimiques du gaz et de la surface sont les compléments logiques des procédés
d’élaboration des couches minces et des traitements de surface.
Nous proposons une gamme étendue de cours dans cette section : analyse de surfaces par XPS, Auger,
spectroscopie d’électrons et d’ions SIMS Analyse par faisceaux d’ions - spectrométrie de masse, etc.
INTRA
La SFV organise des stages sur demande des entreprises ou des organismes. Les programmes sont
alors élaborés en commun entre la direction des enseignements SFV, l’animateur du stage et les services
de formation concernés, afin de les adapter aux besoins particuliers de l’entreprise et des auditeurs.
Ces stages se déroulent sur des durées variables en fonction des demandes, et s’adressent à des groupes
de personnes, même en petit nombre.
3
QUI SOMMES-NOUS ?
Créée en 1945, la Société Française du Vide (SFV) est un organisme de loi 1901 à but non lucratif qui vise à fédérer
toutes les personnes physiques ou morales travaillant autour des technologies du vide et de ses applications.
Elle regroupe aujourd’hui plusieurs milliers de spécialistes français et étrangers.
Déclarée d’utilité publique en 1957, elle joue un rôle primordial pour le transfert de connaissances scientifiques
et techniques. Pour assumer ses missions, la SFV s’entoure d’un vaste réseau de compétences dans les différentes
spécialités où elle est appelée à intervenir.
LA FORMATION PROFESSIONNELLE CONTINUE
La SFV propose un enseignement conventionné dans le domaine des techniques du vide et de leurs applications,
du vide industriel à l’ultravide. Les cours combinent théorie et pratique et sont dispensés, en Inter ou en Intra-entreprises,
par des professionnels reconnus du milieu industriel ou universitaire.
es formations pour tous les niveaux de compétences en technologies du vide, techniques de dépôts
D
et analyse
Les objectifs de la SFV sont de former votre personnel, quel que soit son niveau, de consolider son savoir-faire et
ses compétences, d’adapter ses connaissances à l’évolution de votre entreprise, de satisfaire vos demandes spécifiques.
L’apprentissage par la pratique
La quasi-totalité des formations proposent une grande part de travaux pratiques. La SFV dispose d’un laboratoire
du vide (Hall du vide) situé sur l’IUT d’Orsay. Elle entretient des partenariats solides avec d’autres laboratoires pour
certaines formations :
>> L’Université Paris-Saclay (LPGP et C2N) à Orsay >> L’Institut des Matériaux Jean Rouxel (IMN) à Nantes
>> L’Université Paris Diderot à Paris >> L'Institut Photovoltaïque d'Île de France (IPVF) à Palaiseau
>> L’Institut Jean Lamour à Nancy (IJL) >> Chimie ParisTech (ENSCP) à Paris
LA SOCIÉTÉ FRANÇAISE DU VIDE,
LA FORMATION EN CHIFFRES C’EST AUSSI :
50 ans d’expérience L’organisation d’expositions et de congrès
scientifiques
dans l’enseignement La SFV organise des colloques nationaux et internationaux,
Plus de 6 000 stagiaires des journées d’études thématiques ainsi que des conférences
et des expositions avec notamment tous les ans le Salon
formés du Vide et des Traitements des Matériaux (SVTM).
Un réseau de 60 formateurs L’édition
25 stages proposés La SFV édite des volumes techniques et un bulletin d’infor-
mation « La Gazette du Vide ».
au catalogue
Du conseil et des expertises
200 stagiaires par an
Retrouvez toutes les actualités de la sfv sur vide.org
4
PRÉPARATION DU CERTIFICAT DE QUALIFICATION PARITAIRE DE LA MÉTALLURGIE
(CQPM) "TECHNICIEN(NE) EN TECHNOLOGIE DU VIDE" AVEC LA SFV
Depuis plusieurs années, la SFV est en lien étroit avec les responsables de la licence professionnelle
TECHVIMAT (Technique du vide et Matériaux) de l’IUT de Saint-Etienne (42). À cette formation est associée
une qualification professionnelle délivrée par l’UIMM (Union des Industries et des Métiers de la Métallurgie) :
il s'agit du CQPM intitulé « Technicien(ne) en technologie du vide ».
>>CQPM : c'est quoi? • Travaillent à l'amélioration d'installation sous vide ou
Le CQPM (Certificat de Qualification Paritaire de la Métallurgie) de procédés sous vide.
est un certificat reconnaissant au plan national une qualifi- • Font de la maintenance préventive et curative
cation pour tous les métiers de l’industrie. des installations.
Pour faciliter votre vie professionnelle, pour valoriser vos • Forment des personnels dans le domaine du vide.
acquis et progresser dans votre activité, découvrez le Une fois titulaire du CQPM « Technicien(ne) en technologie
CQPM adapté à votre parcours dans le domaine du vide ! du vide », vous serez ainsi reconnu comme étant capable :
Le CQPM constitue une reconnaissance du profes- • D'établir un cahier des charges fonctionnel de tout au
sionnalisme permettant de valider les capacités partie d'une installation sous vide ou d'un procédé
des personnes, en vue de leur recrutement, de leur sous vide.
adaptation au poste de travail, ou de leur évolution et du
• De déterminer les solutions techniques les mieux
développement de leurs compétences. Les CQPM valident
adaptées en fonction des applications et des contraintes.
les qualifications professionnelles de ces personnes,
• De piloter le fonctionnement et ajuster les paramètres
à l’issue de parcours de formation ou de validation des
acquis de l’expérience (VAE). de fonctionnement d'une installation ou partie
d'installation sous vide.
• D'identifier les sources d'amélioration d'un système
>>CQPM : de nombreux atouts pour valoriser
de production du vide ou d'un procédé sous vide.
votre parcours professionnel
• De former les utilisateurs à la conduite de l'installation.
• Le CQPM permet d’acquérir une qualification
• D'utiliser ou rédiger en anglais un document technique.
opérationnelle et atteste l’acquisition des capacités
nécessaires à l’exercice d’une activité. Ce référentiel du CQPM est donc constitué d’un ensemble
• Le CQPM est une qualification , au plus près de de 6 capacités professionnelles qu’il vous faut valider pour
l'évolution des métiers du vide, élaborée et mises à jour l’obtention du CQPM.
régulièrement avec les entreprises afin de répondre Si vous êtes intéressé(e)(s), la SFV vous propose :
en temps réel aux évolutions technologiques. • De vous accompagner dans l'établissement du bilan
• Créé et délivré au sein de la branche professionnelle de ces capacités, en remplissant et nous retournant
de la Métallurgie par la Commission paritaire nationale le dossier technique que l’on vous fera parvenir sur
pour l’emploi (CPNE), le CQPM est reconnu par demande.
la convention collective ou l’accord de branche auquel • D’établir un plan de formation pour suivre nos stages
il se rattache. et/ou un module de l’IUT de Saint-Etienne pour les
Le CQPM « Technicien(ne) en technologie du vide » permet compétences manquantes.
de valoriser vos savoir-faire et compétences, en particulier Si votre société relève de la branche de la Métallurgie (UIMM),
pour les salariés qui, par exemple : un dossier de prise en charge complémentaire peut être
• Participent à des activités de recherche ou de dévelop- préparé dans la section de votre région.
pement. • De soumettre, lorsqu’il est complet, votre dossier au
• Pilotent une installation sous vide. jury UIMM en vue de l'obtention du CQPM.
5
AGENDA DES FORMATIONS 2020
VIDE
Prix
Prix
N° Formation Page Dates non
membre
membre
Initiation au vide / Opérateur vide 24-26 mars
V1 8 1 245 € 1 145 €
6-8 octobre
21-25 septembre
V2 Pratique des techniques du vide 9 4 200 € 4 100 €
& 16-20 novembre
Technologies et diagnostics des systèmes 11-14 mai
V3
sous vide 10 1 495 € 1 395 €
3-6 novembre
V4 Contrôle d’étanchéité par traceur hélium 11 9-11 juin 1 650 € 1 550 €
V5 Le vide industriel et les centrales de vide 12 8-9 décembre 950 € 850 €
V6 Physique et pratique du vide poussé 13 2-5 juin 1 900 € 1 800 €
Connaissance et pratique de la cryogénie
V7
Utilisation d’équipements cryogéniques 14 5-8 octobre 1 930 € 1 830 €
Connaissance et pratique de la cryogénie
V8
Conception de systèmes cryogéniques 15 8-11 juin 1 930 € 1 830 €
Dimensionnement des installations de vide
V9
et des systèmes de pompage 16 24-26 novembre 1 280 € 1 180 €
Le pompage cryogénique
V10
Pourquoi et comment ? 17 15-16 décembre 950 € 850 €
Le dégazage et son traitement
V11 18 13-15 octobre 1 475 € 1 375 €
Technologies de l’ultravide
Connaissance et pratique de la cryogénie
V12 Utilisation de systèmes cryogéniques 19 18-19 novembre 1 020 € 920 €
SANS cryofluides
INTRA
Toute l’année sur devis 32
6
PROCÉDÉS
Prix
Prix
N° Formation Page Dates non
membre
membre
P1 Initiation aux plasmas 20 3-5 novembre 1 410 € 1 310 €
Dépôt par couche atomique
P2
(ALD, Atomic Layer Deposition) 21 4-5 mai 950 € 850 €
P3a Mécanismes et croissance des couches minces 22 25-29 mai 1 950 € 1 850 €
Procédés d’élaboration et caractérisation
P3b
des couches minces 23 22-26 juin 2 425 € 2 325 €
P4 PVD - magnétron - évaporation - MBE 24 16-18 juin 1 675 € 1 575 €
P5 Lithographies optique et électronique 25 9-11 septembre 1 380 € 1 280 €
Initiation aux techniques de dépôts
28-29-30 septembre 1 260 € 1 160 €
P6 de couches minces par PVD et PECVD 26 1er oct. (option) 300 € 250 €
et de leur caractérisation par ellipsométrie
P7 Gravure des matériaux par plasma 27 24-26 novembre 1 260 € 1 160 €
ANALYSE
Prix
Prix
N° Formation Page Dates non
membre
membre
Analyse des surfaces et des couches minces
A1 2 jours : cours 30 2-3 juin (cours) 1 010 € 910 €
3,5 jours : cours + TP 4-5 juin (TP) 1 900 € 1 800 €
Analyse des gaz résiduels par spectrométrie
A2
de masse 31 1-3 décembre 1 590 € 1 490 €
CONDITIONS GÉNÉRALES
Conditions générales 34/35
Bulletin d’inscription 36/37
SFV // 19 RUE DU RENARD // 75004 PARIS // TÉL. : +33 (0)1 53 01 90 34 7
INITIATION AU VIDE
V1 OPÉRATEUR VIDE
ÉLIGIBLE AU CQPM (cf. page 5)
OBJECTIFS
INFOS L’objectif de ce stage est de faire découvrir ou re-découvrir le vide à toutes les
personnes qui travaillent dans une entreprise ou un laboratoire utilisant cette technique.
DURÉE Il est destiné à tous ceux qui ont déjà acquis une première expérience sur une machine
2,5 jours / 18 heures aussi bien qu’à tous ceux qui vont débuter dans ce domaine et souhaitent acquérir
Début 13h45 le 1er jour ou recadrer des connaissances de base en technique du vide.
Il fera tout d’abord appréhender l’extraordinaire “grouillement” des molécules qui
LIEU constituent notre atmosphère. Cette notion, qui n’est pas évidente à priori, permet de
SFV Paris comprendre pourquoi on fait le vide et quelle qualité de vide est nécessaire pour une
application donnée.
DATES Viendra ensuite une description des moyens à mettre en œuvre pour atteindre le niveau
24-26 mars 2020 de vide souhaité. Les différents types de pompes et d’appareils de mesure seront décrits,
6-8 octobre 2020 tant dans leurs principes que dans leur fonctionnement, afin de mieux faire comprendre
aux utilisateurs les choix qui ont été faits ainsi que les précautions que nécessite
PRIX
l’utilisation de tels matériels.
Non membre : 1 245 €
La qualité des produits élaborés ou traités sous vide devenant une préoccupation
Membre : 1 145 €
majeure, le cours insistera sur la “propreté”, non seulement des enceintes à vide
NIVEAUX mais aussi des objets qui sont introduits et des procédures de travail. Sous vide,
Tous niveaux la notion de propreté est différente de ce que l’on entend habituellement au niveau
macroscopique et nécessite que l’on descende au niveau des molécules et des
DÉMONSTRATIONS atomes.
Ce cours pourra enfin aider ceux qui ont besoin de maîtriser le vocabulaire relatif
DOCUMENTS
aux techniques du vide ainsi que ceux qui doivent émettre et faire appliquer des
Poly des cours
recommandations concernant la mise en œuvre de procédés sous vide.
ANIMATEUR Le cours se conclura par une présentation générale de techniques mettant en
Jacques CHÂLES œuvre le vide, tels que les dépôts de couches minces et le contrôle d’étanchéité.
PRÉ-REQUIS
Ce stage d’initiation convient à tous publics. Il ne requiert pas de connaissances
spécifiques. Ouverture d’esprit et goût pour la technique permettront aux participants
de tirer le meilleur profit de cette formation.
PROGRAMME
>> Introduction : brève histoire du vide >> Les pompes à vide : leur mise en œuvre,
• Les utilisations du vide leurs caractéristiques, leurs limites
• Le vide dans l’industrie • Les pompes pour vide primaire
>> Composition de la matière, les atomes • Les pompes pour vide secondaire
et les molécules et ultravide
>> Les gaz et la pression. >> La mesure du vide, principaux types
Comportement des gaz depuis de jauges à vide
l’atmosphère jusqu’au vide >> Les fuites : causes et conséquences
>> La propreté des surfaces
>> Le dégazage : évaporation et désorption
>> Les machines de dépôt sous vide
8 SFV // 19 RUE DU RENARD // 75004 PARIS // TÉL. : +33 (0)1 53 01 90 34
PRATIQUE
V2 DES TECHNIQUES DU VIDE
OBJECTIFS
INFOS Des exposés sur des sujets précis sont conduits par des professionnels expérimentés
venus d’horizons différents (laboratoire, industrie, activités commerciales). Les
DURÉE deux semaines permettent d’aborder les points-clés de la technique du vide,
9 jours (2 x 4,5 jours) / 60 h depuis l’obtention jusqu’aux applications. Les programmes des cours sont modulés
en fonction des besoins et du niveau de connaissances préalables des stagiaires.
LIEU
IUT d’Orsay PRÉ-REQUIS
Le stage comprend une base théorique et un fort contenu pratique. Bien qu’une première
DATES
connaissance de vide soit un plus, ce stage conviendra aussi aux débutants.
21-25 septembre 2020
&
PROGRAMME
16-20 novembre 2020
Les travaux pratiques effectués par petits groupes de cinq auditeurs maximum sont placés
PRIX sous la conduite d’instructeurs qualifiés dans un laboratoire pédagogique de plus de 400 m2
Non membre : 4 200 € entièrement dédié au vide et à ses applications. Ces travaux pratiques sont effectués
Membre : 4 100 € sur des machines et des appareils les plus variés afin de familiariser l’auditeur à ce qu’il est
susceptible de rencontrer en pratique… Trois types de manipulations sont présentés : des
NIVEAUX montages originaux conçus spécialement à des fins didactiques : démontage et remontage
Tous niveaux de pompes les plus récentes, des matériels professionnels à fonction spécifique.
TP Cours
65 % >> Notions de base en technique >> Manométrie des basses pressions
du vide >> Pompes ioniques
DOCUMENTS
>> Pompes primaires mécaniques >> Pompes cryogéniques
Poly des cours
>> Pompes à diffusion d’huile >> Détection de fuites
ANIMATEUR >> Pompes turbomoléculaires
Éric ROAUX
Travaux pratiques
INTERVENANTS
>> Démonstration des lois fondamentales >> Influence du regazage à l’air
Lionel BRESSON
Jacques CHÂLES
>> Mise en évidence des propriétés atmosphérique ou à l’azote sec
Jean-Pierre LE TOUX des vapeurs condensables (pompage >> Utilisation et étalonnage des jauges
Cyrille NOMINÉ de l’eau, paroi froide, gaz carbonique) primaires (Pirani - Thermocouple)
Gérard PETEY >> Entretien des pompes primaires et secondaires (Penning)
mécaniques >> Spectrométrie de masse des gaz
>> Démontage et remontage (d’une résiduels
pompe à palettes, d’une pompe sèche, >> Détection de fuites
d’une pompe Roots, d’une pompe >> Pompes primaires sèches
turbomoléculaire) >> Pompes ionique et titane
>> Manipulation sur différents groupes >> Pompes cryogéniques
de pompage >> Démonstration de matérielo
>> Visualisation de la pollution par l’huile
à l’amorçage et au désamorçage oooo
d’une pompe à flux de vapeur
9
TECHNOLOGIES ET DIAGNOSTICS
V3 DES SYSTÈMES SOUS VIDE
ÉLIGIBLE AU CQPM (cf. page 5)
OBJECTIFS
INFOS Cette formation s’adresse aux opérateurs et techniciens ayant à assurer le bon fonction-
nement et l’entretien d’une installation sous vide.
DURÉE Elle a pour objectifs :
3,5 jours / 24 heures >> D’identifier les points sensibles >> Le but est de permettre au stagiaire
Début 13h45 le 1er jour des installations et d’évaluer l’influence de faire fonctionner et de maintenir
des principaux facteurs de performance. l’installation de vide dans les conditions
LIEU
>> De décrire les constituants essentiels optimales, ainsi que de porter
SFV Paris
(pompes, canalisations, jauges) en un premier diagnostic en cas
DATES faisant ressortir leurs caractéristiques de dégradation des performances
11-14 mai 2020 spécifiques et leurs limites d’utilisation. ou de dysfonctionnement.
3-6 novembre 2020 >> D’étudier les conditions de mise en
œuvre et d’entretien des systèmes
PRIX de pompage.
Non membre : 1 495 €
Membre : 1 395 €
PRÉ-REQUIS
NIVEAUX Cette session débute par une demi-journée consacrée aux principes de base du vide.
I-II : équivalent ou > Bac+3 Elle peut donc être abordée sans connaissances particulières. Une expérience
III : équivalent au Bac+2 même courte dans une activité à dominante technique facilitera la compréhension
des méthodes et matériels présentés.
DÉMONSTRATIONS
DOCUMENTS
PROGRAMME
Poly des cours >> Rappel pratique des principes • P ompes Roots ; pompes secondaires
fondamentaux de la technique du vide • Canalisations, raccords
ANIMATEURS >> Conception des installations et analyse et accessoires
Jacques CHÂLES / des éléments qui conditionnent la • Jauges
Yvan ABBÉ performance (liés à la conception, >> Couplage de pompes ; avantages
liés au procédé, externes) et limites des diverses combinaisons
>> Mise en œuvre et entretien des en fonction de l’utilisation
principaux composants d’une >> Principales causes
installation de vide : de dysfonctionnement
• Pompes primaires >> Éléments de diagnostic
(sèches et à joint d’huile)
10 SFV // 19 RUE DU RENARD // 75004 PARIS // TÉL. : +33 (0)1 53 01 90 34CONTRÔLE D’ÉTANCHÉITÉ
V4 PAR TRACEUR HÉLIUM
ÉLIGIBLE AU CQPM (cf. page 5)
OBJECTIFS
INFOS Le contrôle d’étanchéité par traceur hélium est une technique performante, mais qui
demande un minimum de connaissance du vide et des conseils pratiques. Ce module
DURÉE s’adresse à toute personne devant maintenir des installations fonctionnant sous vide
3 jours / 21 heures ou réaliser le contrôle de tout produit présentant une contrainte d’étanchéité.
Ce module apporte les connaissances essentielles pour être capable :
LIEU >> D’effectuer rapidement un test de fuite >> De connaître les paramètres qui
IUT d’Orsay >> De mettre en place un poste de contrôle influent sur le résultat, sur la rapidité,
étanchéité sur la faisabilité d’un test
DATES
>> De préparer des pièces pour le contrôle >> De comprendre le fonctionnement
9-11 juin 2020
>> De savoir si le contrôle par traceur d’un détecteur de fuite. Le choisir,
PRIX hélium est la méthode optimale le maintenir.
Non membre : 1 650 €
Membre : 1 550 € PRÉ-REQUIS
Ce cours explicite les bases des technologies du vide qui sont nécessaires à la compréhension
NIVEAUX
du contrôle étanchéité hélium, sans toutefois les approfondir. Des compétences dans
I-II : équivalent ou > Bac+3
le domaine du vide ne sont donc pas indispensables, mais des notions (types d’écoulement,
III : équivalent au Bac+2
IV : équivalent au bac,
conductance) faciliteront la compréhension.
brevet de technicien
ou professionnel PROGRAMME
Cours
TP
>> Le contrôle étanchéité hélium : >> Influence de la position sur un groupe
50 %
applications, marché de pompage…
DOCUMENTS >> Principes et méthode selon les pièces >> Temps de réaction, bruit de fond,
Poly des cours à tester. Évaluation de l’importance affaiblissement du signal
d’une fissure, les unités. Principes >> Critères de choix d’un détecteur
ANIMATEUR
de base des techniques du vide, hélium, ses composants
Laurent DUCIMETIÈRE
écoulement laminaire et moléculaire, >> Vitesse de pompage hélium, sensibilité
INTERVENANT conductance, pression partielle, >> Cas concrets définis par les stagiaires
Cyrille NOMINÉ concentration
Travaux pratiques et dirigés
3 TP encadrés par 2 intervenants permettent au stagiaire de se réapproprier les notions qui
ont été vues en cours et de poser les questions qui le concernent. 2 tests de connaissances
permettent de valider les acquis.
SFV // 19 RUE DU RENARD // 75004 PARIS // TÉL. : +33 (0)1 53 01 90 34 11LE VIDE INDUSTRIEL
V5 ET LES CENTRALES DE VIDE
OBJECTIFS
INFOS Ce cours s’adresse aux personnels de développement, production et maintenance.
Elle a pour but d’expliquer et de montrer :
DURÉE >> Les différentes techniques de génération et d’utilisation du vide dans l’industrie,
2 jours / 14 heures l’emballage, la production et l’agroalimentaire
>> Les principes de fonctionnement des différents composants utilisés dans les techniques
LIEU du vide : les pompes à joints d’huile et pompes sèches, Roots et appareils de mesures
SFV Paris
Mise en évidence des problèmes engendrés par l’humidité et les solutions à mettre
DATES en œuvre.
8-9 décembre 2020 Un point particulier sera fait sur le principe de fonctionnement des centrales
PRIX de vide simple ou double flux et de leurs avantages par rapport aux systèmes de vide
Non membre : 950 € traditionnels.
Membre : 850 €
PRÉ-REQUIS
NIVEAUX Ce cours sur “Le vide industriel et les centrales de vide”, convient à tous publics,
I-II : équivalent ou > Bac+3 il ne requiert pas de connaissances spécifiques.
III : équivalent au Bac+2
MATÉRIEL MIS EN ŒUVRE PENDANT LA FORMATION
TP
30 %
>> Cloche à vide transparente >> Pompe Roots
>> Pompe à palettes mono-étagée >> Appareils de mesure de vide type
DOCUMENTS >> Pompe à palettes bi-étagée à membrane et Pirani
Poly des cours
PROGRAMME
>> Introduction : le vide dans l’industrie >> Le comportement des pompes à vide
>> Qu’est-ce que le vide et que peut-on en milieu humide
en faire ? >> Le lest d’air, pourquoi et comment
>> Comment faire le vide ? >> Les centrales de vide simple
>> Mesure et unités de mesure du vide et double flux
>> Les différents types de pompes >> Influence des canalisations sur
utilisées dans le vide primaire : pompes le temps de descente en vide
à joints d’huile, pompes sèches >> Critères de choix des pompes à vide
>> Les accessoires de raccordement
12 SFV // 19 RUE DU RENARD // 75004 PARIS // TÉL. : +33 (0)1 53 01 90 34PHYSIQUE ET PRATIQUE
V6 DU VIDE POUSSÉ
OBJECTIFS
INFOS Comprendre les exigences de la pratique du vide poussé pour assurer une mise
en œuvre correcte dans les procédés de fabrication ou dans la conception des équipements.
DURÉE Une connaissance élémentaire des techniques du vide est souhaitable préalablement
4 jours / 28 heures à ce stage.
LIEU PRÉ-REQUIS
IUT d’Orsay Ce stage est consacré à l’étude des phénomènes physiques intervenant aux très basses
pressions (< à 10-3 mbar). Il nécessite une bonne connaissance préalable des principes
DATES
du vide et des outils mathématiques associés.
2-5 juin 2020
PRIX PROGRAMME
Non membre : 1 900 € Les principes fondamentaux indispensables sont exposés simplement, puis on explique
Membre : 1 800 € le fonctionnement et le rôle des matériels en précisant leurs compatibilités et les domaines
d’utilisation.
NIVEAUX
Cours
I-II : équivalent ou > Bac+3
>> Les gaz permanents >> Le groupe de pompage, la pression
TP >> Les vapeurs condensables, la pression, limite, le dégazage des matériaux,
25 % la pression de vapeur les fuites, l’évaporation, la rétrodiffusion,
>> Le libre parcours moyen, la perméation
DOCUMENTS
les fréquences de collisions, la transition >> Mesures de pressions, manomètres
Poly des cours
“état visqueux - état moléculaire”, absolus, manomètres relatifs, mesures
ANIMATEUR le nombre de KNUDSEN de pressions partielles
Lionel BRESSON >> Le rôle des parois, le taux d’incidence, >> Conception des enceintes à vide,
le temps de séjour, le taux de fabrication, nettoyage, mesure
INTERVENANTS recouvrement, le volume fictif d’étanchéité, stockage, exploitation.
Jacques CHÂLES
>> Les différents moyens de pompage, Analyse des gaz
Jean-Pierre LE TOUX
le pompage sec, les accessoires,
Valérie ROUSSEAU
le flux gazeux, le débit massique,
la vitesse de pompage, la conductance
Travaux pratiques
>> 3 séances de travaux pratiques sur • Influence des conductances
l’obtention et la mesure du vide • Rôle des parois : le dégazage
concrétisent les informations apportées. • Mesures des pressions partielles
SFV // 19 RUE DU RENARD // 75004 PARIS // TÉL. : +33 (0)1 53 01 90 34 13CONNAISSANCE ET PRATIQUE
DE LA CRYOGÉNIE - UTILISATION
V7 D’ÉQUIPEMENTS CRYOGÉNIQUES
OBJECTIFS
INFOS Ce stage de 4 jours a été conçu pour permettre aux utilisateurs de systèmes cryogéniques
de se familiariser avec certains équipements types (dewars, cryostats…), leur technologie
DURÉE et leur utilisation.
4 jours / 28 heures Des notions de la thermodynamique des cryofluides et des machines thermiques, des trans-
ferts de chaleur (conduction, convection, rayonnement) et du comportement des matériaux
LIEUX à basses températures sont introduites tout au long du stage et illustrées à l’aide d’exemples
IUT d’Orsay et Université
pratiques. Elles permettent de se familiariser avec les problématiques du domaine.
Paris Diderot
L’autre moitié du stage est dédiée à la mise en pratique d’équipements cryogéniques.
DATES Les stagiaires sont conduits à manipuler certains dispositifs de stockage, de transfert d’azote
5-8 octobre 2020 et d’hélium liquides, de mesures et de mise en froid. Des systèmes et des expériences sont
également présentés.
PRIX
Non membre : 1 930 € PRÉ-REQUIS
Membre : 1 830 € Aucun
NIVEAUX
III : équivalent au Bac+2
PROGRAMME
IV : équivalent au bac, Exposés et travaux dirigés
brevet de technicien >> Introduction : thermodynamique >> Instrumentation : capteurs et principe
ou professionnel des cryofluides de mesure
V : équivalent au CAP, >> Transferts thermiques en cryogénie >> Stockage et transfert de cryofluides
BEP et DNB >> Éléments constitutifs d’un cryosystème
TP ET DÉMONSTRATIONS
50 % Travaux pratiques et démonstrations
DOCUMENTS >> Mise en froid d’une masse métallique >> Transfert d’hélium
Poly des cours >> Transfert d’azote >> Mise en œuvre d’un bain d’hélium
>> Mesures de températures liquide normal et superfluide
ANIMATEURS
Jean-Pierre THERMEAU
Jay AMRIT
INTERVENANTS
Bertrand BAUDOUY
Frédéric CHATELET
Patxi DUTHIL
Matthieu PIERENS
Adrien STRIEBIG
14 SFV // 19 RUE DU RENARD // 75004 PARIS // TÉL. : +33 (0)1 53 01 90 34CONNAISSANCE ET PRATIQUE
DE LA CRYOGÉNIE – CONCEPTION
V8 DE SYSTÈMES CRYOGÉNIQUES
OBJECTIFS
INFOS Ce stage de 4 jours a été conçu pour permettre aux concepteurs d’acquérir des notions
de base pour la définition et la mise en œuvre de systèmes cryogéniques fonctionnant
DURÉE à des températures inférieures à -150 °C.
4 jours / 28 heures Une partie théorique (75 % du stage) porte sur la thermodynamique des cryofluides
et des machines thermiques, les transferts de chaleur (conduction, convection, rayonnement)
LIEUX et le comportement des matériaux à basses températures. Elle permet ainsi d’exposer
IUT d’Orsay et Université les spécificités conceptuelles du domaine. Des travaux dirigés complètent ces cours
Paris Diderot
théoriques. Une partie pratique et démonstration (25 % du stage) aborde les aspects
technologiques du stockage et du transfert des cryofluides, des cryosystèmes (cryostat,
DATES
liquéfacteur, cryogénérateur, échangeur de chaleur, pompe, compresseur, vanne, soupape...)
8-11 juin 2020
et de l’instrumentation associée (température, pression, niveau...). Les stagiaires manipuleront
PRIX quelques équipements pour le transfert et la mesure de niveau d’hélium liquide.
Non membre : 1 930 €
Membre : 1 830 € PRÉ-REQUIS
Des connaissances de base en mécanique sont souhaitables.
NIVEAUX
Des connaissances de base en thermique et thermodynamique ne sont pas indispensables.
I-II : équivalent ou > Bac+3
III : équivalent au Bac+2
PROGRAMME
TP ET DÉMONSTRATIONS
Exposés et travaux dirigés
25 %
>> Thermodynamique des cryofluides >> Instrumentation : capteurs et principe
DOCUMENTS >> Production des basses températures : de mesure
Poly des cours liquéfacteur - cryogénérateur >> Évaluation thermo-mécanique
>> Transferts thermiques d’un cryostat
ANIMATEURS
>> Échangeurs de chaleur
Jean-Pierre THERMEAU
>> Technologie cryogénique : exemples
Jay AMRIT
de conceptions et de réalisations pour
INTERVENANTS le stockage et le transfert de cryofluides
Bertrand BAUDOUY
Philippe BREDY
Travaux pratiques et démonstrations
Frédéric CHATELET
Patxi DUTHIL
>> Mesures de températures sous vide >> Mesures de niveau d’hélium
Matthieu PIERENS (auto-échauffement, thermalisation) >> Mise en œuvre d’un bain d’hélium
Jean-Marc PONCET >> Transfert d’hélium liquide normal et superfluide
SFV // 19 RUE DU RENARD // 75004 PARIS // TÉL. : +33 (0)1 53 01 90 34 15DIMENSIONNEMENT DES
INSTALLATIONS DE VIDE
V9 ET DES SYSTÈMES DE POMPAGE
ÉLIGIBLE AU CQPM (cf. page 5)
OBJECTIFS
INFOS Cette formation s’adresse aux concepteurs et utilisateurs d’installations sous vide. Elle a pour
but de leur permettre d’évaluer le temps de pompage d’une installation et de les sensibiliser
DURÉE aux nombreux facteurs intervenant lors de la mise sous vide.
3 jours / 21 heures La maîtrise de ces facteurs est essentielle pour optimiser le dimensionnement de
l’installation et du système de pompage associé. Les TD permettront de réfléchir ensemble
LIEU sur des cas pratiques et d’illustrer les phénomènes décrits en cours. Les résultats obtenus
SFV Paris
seront comparés à ceux fournis par un logiciel de calcul.
DATES
PRÉ-REQUIS
24-26 novembre 2020
Ce stage sur le “Dimensionnement des installations sous vide et des systèmes de pompage”
PRIX est la suite logique du cours V3 “Technologies et diagnostics des systèmes sous vide”.
Non membre : 1 280 € Il s’adresse à des personnes connaissant le vide et ayant déjà utilisé des installations sous
Membre : 1 180 € vide.
La bonne maîtrise d’une calculatrice scientifique ou d’un tableur sera un plus pour tirer
NIVEAUX
le meilleur profit de cette formation.
I-II : équivalent ou > Bac+3
III : équivalent au Bac+2
PROGRAMME
DÉMONSTRATIONS + TD >> Bref rappel des principes >> Pompage en vide primaire - Facteurs
50 % fondamentaux de physique du vide état déterminants - Calcul des temps
gazeux- unités - lois des gaz parfaits - de pompage
DOCUMENTS
notions de théorie cinétique des gaz - >> Pompage en vide secondaire -
Poly des cours
écoulements Influence des conductances et
ANIMATEURS >> Démonstration expérimentale d’une des dégazages sur la mise sous vide
Jacques CHÂLES / descente en pression. Mise en >> Couplages de pompes - Calcul du
Yvan ABBÉ évidence des différentes phases de dimensionnement des pompes
pompage et des phénomènes associés primaires dans les systèmes
>> Les principaux constituants d’une de pompage.
installation et leur influence sur la mise >> Couplage primaire / secondaire -
sous vide. Pompes - canalisations - Couplage primaire / roots
jonctions - matériaux
Travaux Dirigés
>> Exemple de calcul des temps de mise >> Dimensionnement des pompes
sous vide. primaires dans les systèmes.
>> Vérification des calculs avec un logiciel.
Démonstrations
>> Vérification expérimentale des temps paramètres externes (canalisations,
de pompage. humidité, dégazage…).
>> Mise en évidence de l’influence des
16 SFV // 19 RUE DU RENARD // 75004 PARIS // TÉL. : +33 (0)1 53 01 90 34LE POMPAGE
CRYOGÉNIQUE
V10 POURQUOI ET COMMENT ?
ÉLIGIBLE AU CQPM (cf. page 5)
OBJECTIFS
INFOS Cette formation s’adresse aux personnels de maintenance, de production et
de développement. Elle a pour but d’expliquer et surtout de montrer les principes
DURÉE de fonctionnement des différents composants intervenant dans un système de pompage
2 jours / 14 heures cryogénique. À la fin de cette formation, le stagiaire sera capable d’installer et de mettre
en route une pompe cryogénique, de comprendre la plupart des dysfonctionnements liés
LIEU à l’utilisation de ce type de pompe.
SFV Paris
De plus, par l’acquisition du vocabulaire technique spécifique, le stagiaire sera capable
de dialoguer directement avec les fournisseurs de pompes cryogéniques.
DATES
15-16 décembre 2020
PRÉ-REQUIS
PRIX Ce stage sur la cryogénie convient à tous publics, il ne requiert pas de connaissances
Non membre : 950 € spécifiques, toutefois la connaissance des bases des technologies du vide serait un plus
Membre : 850 € pour tirer le meilleur profit de cette formation.
NIVEAUX
I-II : équivalent ou > Bac+3 PROGRAMME
III : équivalent au Bac+2 >> Les unités de mesure >> Régénération
>> Principe du pompage cryogénique : >> Cryostat
TP • Cryocondensation >> Étude d’un schéma synoptique
30 % • Cryosorption d’une installation à pompe cryogénique
DOCUMENTS • Piégeage cryogénique >> Raccordement des différents éléments
Poly des cours >> Principe d’une pompe cryogénique d’une pompe cryogénique
à cryogénérateur >> Mise en service d’une pompe
ANIMATEUR >> Caractéristiques techniques : cryogénique
Yann LEMARQUAND • vitesse de pompage >> Avantages d’une pompe cryogénique
• courbes de débit >> Maintenance d’une pompe
>> Principe de fonctionnement d’une tête cryogénique
froide >> Entretien, pannes et anomalies
Matériel mis en œuvre pendant la formation
>> Pompe cryogénique 1500 l/s >> Outillages spécifiques à la maintenance
et compresseur d’hélium. des têtes froides.
SFV // 19 RUE DU RENARD // 75004 PARIS // TÉL. : +33 (0)1 53 01 90 34 17LE DEGAZAGE ET
SON TRAITEMENT
V11
TECHNOLOGIE DE L’ULTRAVIDE
OBJECTIFS
INFOS
Ce cours décrit et caractérise les phénomènes rencontrés en « vide poussé et en ultravide ».
Une bonne compréhension des propriétés des matériaux, notamment de leur interaction
DURÉES : avec les gaz ou de leur traitement, est indispensable dans le domaine de l’ultravide.
3 jours / 21 heures Comprendre les mécanismes du dégazage (ou désorption), connaitre les paramètres qui
LIEU
accélèrent ou réduisent ce phénomène, mais aussi mesurer son évolution dans le temps
IUT Orsay
vous permet d’améliorer et de trouver les solutions pérennes sur vos installations.
On montrera comment il est possible de diminuer le dégazage de plusieurs ordres
DATES de grandeur, même sur de très grandes installations. Des travaux pratiques sur bâti avec
13-15 octobre 2020 échantillons, permettront de bien comprendre comment il est possible de mesurer et
PRIX
de caractériser la désorption d’un matériau.
Non membre : 1 475 € À l'issue de la formation, vous serez capable de :
Membre : 1 375 € >> D’identifier les sources de dégazage pour effectuer des mesures de
NIVEAUX et de nommer les paramètres influents dégazage
Tous niveaux avec une >> De décrire les interactions surfaces gaz >> De réaliser une mesure de dégazage
expérience théorique et d’en estimer le dégazage en fonction dans des conditions expérimentales
ou pratique dans le vide des variables >> D’adapter les moyens techniques
avérée >> De calculer le vide limite d’une installation de pompage en fonction du taux
>> De choisir les matériaux de vos et de la nature du dégazage
TP
installations >> De justifier vos choix de conception
30 %
>> De classifier les matériaux en fonction et vos investissements
DOCUMENTS de leur propriété de dégazage et leur et de la nature du dégazage
Poly des cours conditionnement >> De justifier vos choix de conception
>> De décrire les différentes méthodes et vos investissements
ANIMATEUR
Franck DEMARCQ
PRÉ-REQUIS
Aucun pré-requis technique, mais une familiarité avec les technologies du vide est
un plus. Un niveau en mathématique minimum est conseillé pour profiter pleinement
des démonstrations (BAC scientifique). Ces cours s’adressent aux personnes ayant déjà une
bonne connaissance du vide secondaire. En cas de doute, un entretien préalable d’évaluation
peut être effectué à votre demande.
PROGRAMME Partie pratique
Partie théorique >> Présentation du bâti
>> Rappel des lois et des principes fondamentaux >> Caractérisation géométrique du bâti
de la physique du vide >> Mise sous vide, détection de fuite
>> Le dégazage : grandeur, sources, dégazage des parois >> Introduction d’un échantillon
>> Phénomènes rencontrés en vide poussé >> Mesure du flux, par comparaison des pressions
>> Interaction Gaz/parois : absorption, adsorption, diffusion, entre une conductance fixe
temps de séjour >> Caractérisation du bâti en fonction du temps
>> Dégazage des métaux, interface, pollution (mesure du blanc)
>> Perméation, diffusion de l’hydrogène >> Remise à la pression atmosphérique
>> La mesure du taux de dégazage (bâti) >> Mesure du flux en fonction du temps
>> Choix des matériaux, traitements, Joints et technologie >> Caractérisation de l’échantillon
>> Exercices de calcul >> Calcul du taux de désorption de l’échantillon
18 SFV // 19 RUE DU RENARD // 75004 PARIS // TÉL. : +33 (0)1 53 01 90 34CONNAISSANCE ET PRATIQUE
DE LA CRYOGÉNIE
V12 UTILISATION DE SYSTÈMES CRYOGÉNIQUES
SANS CRYOFLUIDES
OBJECTIFS
INFOS Ce stage a été conçu pour permettre aux utilisateurs de systèmes cryogéniques de
se familiariser avec les équipements de réfrigération ne nécessitant pas la consommation
DURÉE de fluides cryogéniques.
2 jours / 14 heures Des notions de la thermodynamique des machines thermiques, des transferts
de chaleur (conduction, convection, rayonnement) et du comportement des matériaux à basses
LIEU températures sont introduites tout au long du stage et illustrées à l’aide d’exemples pratiques.
Université Paris Diderot
A la fin de cette première partie de la formation, les stagiaires auront les outils pour rédiger
le cahier des charges nécessaire à l’acquisition d’un cryogénérateur.
DATES
18-19 novembre 2020 L’autre moitié du stage est dédiée à la mise en pratique d’équipements cryogéniques.
Les stagiaires sont conduits à manipuler certains dispositifs de réfrigération fonctionnant à
PRIX l’aide de cryogénérateur. Les stagiaires réaliseront des mesures de temps de mise en froid
Non membre : 1 020 € d’une masse et évalueront les caractéristiques d’un cryogénérateur (courbe de charge).
Membre : 920 €
PRÉ-REQUIS
NIVEAUX Aucun.
I-II : équivalent ou > Bac+3
III : équivalent au Bac+2 PROGRAMME
IV : équivalent au bac,
brevet de technicien Exposés et travaux dirigés
ou professionnel >> Thermodynamique des machines thermiques
>> Production des basses températures :
TP ET DÉMONSTRATIONS liquéfacteur - cryogénérateur
>> Transferts thermiques
DOCUMENTS
Poly des cours
>> Technologie cryogénique : exemples
Copies des transparents de conceptions et de réalisations
Recueil des données de cryogénérateur
cryogéniques >> Critères de choix d’un cryogénérateur,
définition d’un cahier des charges
ANIMATEUR
Jean-Pierre THERMEAU
Travaux pratiques et démonstrations
INTERVENANTS >> Mise en froid d’une masse métallique, effet
Jay AMRIT des résistances thermiques…
Bertrand BAUDOUY
>> Mesures des caractéristiques d’un
Frédéric CHATELET
cryogénérateur
Patxi DUTHIL
Matthieu PIERENS
SFV // 19 RUE DU RENARD // 75004 PARIS // TÉL. : +33 (0)1 53 01 90 34 19INITIATION
P1 AUX PLASMAS
OBJECTIFS
INFOS Cette formation s’adresse aux personnels qui étudient ou qui utilisent les plasmas, qu’ils
soient basse pression, avec des applications dédiées au traitement de surface, au dépôt
DURÉE ou à la gravure, dans des domaines très divers tels que la mécanique, l’optique, la décoration,
3 jours / 20 heures ou la micro-électronique, ou qu’ils soient haute pression avec des applications concernant
le déclenchement de combustion, la dépollution des rejets gazeux industriels et des transports,
LIEU ou de l’air ambiant, le traitement des micro-organismes et de la matière vivante (stérilisation,
Université Paris-Saclay décontamination), et la médecine (traitement de plaies chroniques, coagulation…).
LPGP Orsay
Ce stage se déroule sur trois jours, avec une première moitié présentée sous forme de cours
et une seconde moitié mettant en œuvre les acquis par des travaux pratiques. Le premier
DATES
jour a pour but d’apporter des connaissances de base concernant la physique des plasmas
3-5 novembre 2020
(processus de créations et de pertes des espèces au sein du plasma, grandeurs caractéristiques
PRIX qu’il est nécessaire de diagnostiquer pour une meilleure optimisation et un meilleur contrôle
Non membre : 1 410 € des procédés plasma). Il est suivi d’un cours décrivant les différents types de plasmas et
Membre : 1 310 € de réacteurs à plasma, notamment ceux basse pression, et leurs domaines d’utilisation.
Un cours ciblé sur les plasmas haute pression et leurs applications sera ensuite dispensé.
NIVEAUX
La deuxième partie du cours (2e matinée) concerne l’initiation aux diagnostics des plasmas,
I-II : équivalent ou > Bac+3
à la fois électriques (sondes de Langmuir) et optiques (spectroscopie d’émission et d’absorption).
III : équivalent au Bac+2
Le second après-midi et le 3e jour sont dédiés à la mise en pratique des connaissances acquises
TP dans le domaine des diagnostics optiques et électriques des plasmas, grâce à des travaux
50 % pratiques effectués sur divers types de réacteurs à plasma et leurs diverses applications.
DOCUMENTS
PRÉ-REQUIS
Poly des cours
Avoir des notions de base telles que les gaz (atomes et molécules), états excités
ANIMATEUR et ionisés (électrons et ions), l’énergie (cinétique et potentielle), potentiel et champs
Olivier LEROY électriques et magnétiques. Des connaissances en chimie, mesures électriques et vide
seraient bienvenues.
INTERVENANTS
Tiberiu MINEA
PROGRAMME
Joao SANTOS SOUSA
Cours
>> Initiation à la physique des plasmas : • RF micro-ondes
processus de création et de pertes • phénomènes aux électrodes,
>> Grandeurs caractéristiques des pulvérisation
plasmas (densités et énergies >> Réacteurs à plasma dans l’industrie -
des espèces neutres et chargées, Plasma à haute pression et applications
potentiels) >> Méthodes de diagnostics des plasmas :
>> Production des plasmas basse • Les sondes électrostatiques
pression : • La spectroscopie optique
• décharges électriques continues d’émission
dans un gaz • La spectroscopie d’absorption
Travaux pratiques
3 TP d’une demi-journée portant sur la caractérisation du plasma (spectroscopie d’émission)
et d'un matériau déposé par plasma en utilisant différents types de réacteurs plasma
(magnétron / micro-onde / RF).
20 SFV // 19 RUE DU RENARD // 75004 PARIS // TÉL. : +33 (0)1 53 01 90 34DÉPÔT PAR COUCHE ATOMIQUE
P2 (ALD, ATOMIC LAYER DEPOSITION)
OBJECTIFS
INFOS La technologie de dépôt par couche atomique (ALD – Atomic Layer Deposition) est un
procédé de dépôt de couches minces à basse température adapté à des substrats de taille
DURÉE et nature variés. Les procédés ALD permettant d’obtenir des matériaux de haute qualité
2 jours / 14 heures avec une grande homogénéité et un contrôle de l’épaisseur au niveau (sub)nanométrique,
ils sont utilisés pour le dépôt de couches minces fonctionnelles ou multifonctionnelles :
LIEU couches optiques, barrières, dures, isolantes, conductrices, décoratives... dans diverses
SFV Paris et Institut applications. Ce stage de 2 jours est destiné aux techniciens, ingénieurs ou chercheurs, qui
Photovoltaïque souhaitent avoir un panorama des principes, ainsi que des potentiels et opportunités offerts
d’Ile-de-France (Palaiseau) par ce procédé, et être en mesure de mettre au point le procédé le mieux adapté pour une
application donnée.
DATES
4-5 mai 2020 PRÉ-REQUIS
Connaissance de base en physique et chimie (niveau bac+3) ou expérience pratique
PRIX
professionnelle en procédés physico-chimiques ou procédés couches minces.
Non membre : 950 €
Membre : 850 € PROGRAMME
NIVEAUX Les deux jours de formation se partageront entre 1,5 jour de cours et une demi-journée de
I-II : équivalent ou > Bac+3 travaux pratiques. Les cours couvriront les aspects théoriques et techniques de l’ALD, du
III : équivalent au Bac+2 choix du précurseur à ses outils de caractérisation (in-situ et ex-situ) relatifs. Les nombreuses
applications de l’ALD seront illustrées par des exemples concrets, avec un focus constant sur
TP les opportunités et les challenges de cette technique. L’étude pratique d’un dépôt de couches
25 %
minces (0.5 jour) aura lieu au sein de l’Institut Photovoltaïque d’Ile-de-France. Du temps sera
DOCUMENTS réservé pour des échanges entre formateurs et stagiaires afin de répondre aux questions et
Poly des cours problèmes concrets des stagiaires.
ANIMATEUR
Cours : 1,5 jour
Nathanaelle SCHNEIDER
>> Principe général et notions fondamentales
INTERVENANTS de l’ALD. Exemples d’applications en
>> Techniques de caractérisation des
Mikhael BECHELANY micro-électronique
matériaux minces ALD. Matériaux de
Stéphane DANIELE >> Introduction sur les pré-requis d’un
Arnaud MANTOUX grands rapports d’aspects et applications
précurseur et notions de chimie
Catherine MARICHY liés à l’énergie et à l’environnement
moléculaire pour appréhender le choix
David MUÑOZ-ROJAS (membrane)
d’un précurseur ALD
>> Nouveaux procédés et réacteurs pour
>> Techniques de caractérisation in-situ et
l’ALD : plasma-enhanced ALD, fast-ALD,
leur utilisation pour l’étude des procédés
Molecular Layer deposition et Area-
et mécanismes réactionnels. Exemples
selective ALD.
applicatifs pour les capteurs, l’optique et
la photonique.
Travaux pratiques : 0,5 jour
Les notions présentées dans les cours seront mises en pratique par des expériences
de dépôt de couches minces par Atomic Layer Deposition pour le photovoltaïque
et leur caractérisation in-situ (microbalance à cristal de quartz) et ex-situ.
Ces expériences permettront aux stagiaires d’aborder de façon concrète les paramètres
permettant de contrôler les structures et propriétés des couches minces déposées.
SFV // 19 RUE DU RENARD // 75004 PARIS // TÉL. : +33 (0)1 53 01 90 34 21Vous pouvez aussi lire
